Graphit in der Produktion von Halbleitern

Kein modernes Leben ohne Halbleiter. Computer, Netzgeräte, LEDs, Internet, Solarzellen – sie alle funktionieren nur mit Halbleitern, wie zum Beispiel Silizium. Für viele Prozesse in der Halbleiterproduktion sind Komponenten aus Spezialgraphit unverzichtbar.

Das gilt für die Kristallzüchtung genauso wie für die anschließende Veredelung mittels Epitaxie oder Ionen-Implantation. Diese Prozesse laufen bei sehr hohen Temperaturen und in extrem korrosivem Milieu ab. Gleichzeitig sind höchste Reinheit und absolute Präzision gefordert. Wir liefern graphitbasierte Lösungen entlang der gesamten Halbleiterproduktionsroute und sind mit unseren Siliziumkarbid-Beschichtungen einer der führenden Anbieter für die Halbleiterindustrie.

Verbindungshalbleiter und LED

Graphitkomponenten mit höchster Reinheit sind unverzichtbar für viele Prozesse in der Halbleiter-, LED- und Solarindustrie. Hier reicht unser Angebot von Graphitbauteilen für Hot Zones von Kristallzüchtungsanlagen (Heizer, Stütztiegel, Isolationen) bis hin zu hochpräzisen Graphitkomponenten zur Wafer-Bearbeitung, wie Siliziumkarbid-beschichtete Graphit-Suszeptoren für Epitaxy- oder MOCVD-Anlagen.

Wir investieren kontinuierlich in unsere Produkte und Produktionsprozesse, um Teile herzustellen, die für die Herstellung moderner Halbleiterchips entscheidend sind. Da unsere Teile aus den hochwertigsten Materialien hergestellt werden, die auch die engsten Maßangaben erfüllen, sind wir der bevorzugte Partner unserer Kunden.

Yad Singh, Technical Marketing Manager Nordamerika