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LED-Chip-Herstellung

Waferträger aus Graphit sind für die Herstellung von LEDs von entscheidender Bedeutung. Während des umfangreichen Beschichtungsprozesses in einem MOCVD (Metal Organic Chemical Vapor Deposition)-Reaktor werden die Substratwafer von rotierenden Waferträgern, auch Platter oder Suszeptoren genannt, getragen.

Die Eigenschaften des Suszeptormaterials haben einen entscheidenden Einfluss auf die Beschichtungsqualität und damit auf die Chipausbeute und Helligkeit der LEDs.

Vorteile:

  • Geringste Wellenlängenabweichung und höhere Chip-Ausbeute
  • Hohe Wärmeleitfähigkeit zur Reduzierung der thermischen Belastung und für höhere Waferleistung
  • Höhere Ausbeute und niedrigere Kosten dank engerer Maßtoleranzen
  • Hochreiner Graphit und SiC-Beschichtung für Pinhole-Widerstand und höhere Lebensdauer
  • Globales Vertriebs- und Service-Netzwerk mit 24/7-Verfügbarkeit
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