Graphit-Suszeptoren mit Siliziumkarbid-Beschichtung
Hohe Reinheit und zertifizierte Qualität
Unsere SiC-beschichteten Graphit-Suszeptoren überzeugen vor allem durch höchste Reinheit sowie eine homogene Beschichtung und eine ausgezeichnete Lebensdauer. Sie zeichnen sich zudem durch eine hohe chemische und thermische Beständigkeit aus.
Die SiC-Beschichtung erfolgt homogen und innerhalb engster Toleranzen. Für ein gleichmäßiges Suszeptor-Profil sorgt die hochpräzise mechanische Bearbeitung. Auch für induktiv beheizte Systeme bieten wir Material mit einem optimalen elektrischen Widerstand an. Die fertigen Bauteile liefern wir inklusive Reinheits- und Dimensionszertifikat.
Komponenten
Barrel-, Pancake- und Single-Wafer-Suszeptoren
Wir liefern Suszeptoren und Graphitkomponenten für alle gängigen Epitaxie-Reaktoren. Unser Portfolio umfasst Barrel-Suszeptoren für Applied Materials, Moore- und LPE-Reaktoren, Pancake-Suszeptoren für LPE-, CSD- und Gemini-Einheiten sowie Single-Wafer-Suszeptoren für Applied Materials- und ASM-Maschinen.
Durch die Kombination von engen Partnerschaften mit führenden OEMs sowie unser Werkstoff- und Fertigungs-Know-how bieten wir das optimale Design für Ihre Anwendung.
Heizer, Stütztiegel, Hitzeschilde und Isolationsbauteile
Unser Portfolio umfasst Heizer, Stütztiegel, Hitzeschilde und Isolationsbauteile für viele Prozesse und Materialien zur Züchtung von Einkristallen.
Wir liefern auch Suszeptoren für die Siliziumepitaxie und MOCVD-Reaktoren. Bekannt für unsere gleichbleibend hohe Qualität und individuelle Fertigung, bieten wir anwendungsspezifische Veredelungen durch Reinigung, mechanische Bearbeitung oder Beschichtung.
Materialien
Alle unsere Suszeptoren werden aus hochfestem isostatischem Graphit hergestellt. Profitieren Sie von der hohen Reinheit unserer Graphite - entwickelt speziell für anspruchsvolle Prozesse wie Epitaxie, Kristallzüchtung, Ionenimplantation und Plasmaätzen sowie für die Herstellung von LED-Chips.
Unser Produktfinder für SIGRAFINE Feinkorngraphite kann Sie bei der Auswahl der richtigen Graphitsorte für Ihre Anwendung unterstützen.
Dank umfassender Qualitätskontrollen bieten wir unseren Kunden lückenlos rückverfolgbare Produkte bester Qualität. Parallel entwickeln wir unsere Werkstoffe und Produkte weiter, in enger Zusammenarbeit mit Herstellern und Betreibern von Epitaxie-Anlagen.
