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Silizium- und SiC-Epitaxie

Ein Wafer durchläuft unzählige Schritte, bevor daraus Mikrochips entstehen. Ein wichtiger Prozess ist die Silizium-Epitaxie, bei der die Wafer auf Graphit-Suszeptoren getragen werden. Die Eigenschaften und die Qualität der Suszeptoren haben einen entscheidenden Einfluss auf die Qualität der epitaktischen Schicht des Wafers.

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