SIGRAFLEX® Auskleidungswerkstoffe, Diffusionsbarrieren, Isolation und Heizelemente

SIGRAFLEX Graphitfolie und -Platten für die Halbleiter- und LED-Industrie

SIGRAFLEX-Produkte aus expandiertem Naturgraphit sind ideale Materialien für den Einsatz bei der Halbleiter-Kristallzucht – durchgeführt bei hohen Temperaturen in aggressiven Umgebungen. SIGRAFLEX-Produkte sind prädestiniert für diese Anwendungen insbesondere aufgrund ihrer Weichheit und Flexibilität, Inertheit, Undurchlässigkeit, ihrer hervorragenden Hochtemperatur- und Korrosionsbeständigkeit sowie ihrer hervorragenden thermischen und elektrischen Leitfähigkeit.

Zum Schutz der Isolierung und anderer Graphitofenkomponenten, die z. B. aus SIGRATHERM® Weich- oder Hartfilz bestehen, vor Ausgasungen von Produktionsteilen und zur Vermeidung unerwünschter Konvektion, kann SIGRAFLEX flexibler Graphit als gasdichte Schutzauskleidung und Diffusionsbarriere verwendet werden: Der Aufbau von Ablagerungen und Dendriten sowie die Korrosion oder Oxidation der Graphitofenteile werden vermieden und deren Lebensdauer damit deutlich verlängert.

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