Herstellung von Einkristallen aus Silizium für die Halbleiterbranche
Ohne Halbleiter ist unsere moderne Welt undenkbar: Computer, Smartphones, autonome Autos und unzählige weitere Produkte fußen auf der Technologie. Basis vieler Halbleiter ist Silizium. Das Halbmetall wird zu Einkristallen gezüchtet, in ca. 1 Millimeter dünne Wafer-Scheiben geschnitten und anschließend zu winzigen mikroelektrischen Systemen verarbeitet.
Graphitbauteile für die Silizium-Kristall-Züchtung
Siliziumkristalle für Halbleiteranwendungen werden im industriellen Maßstab entweder nach dem CZ- oder dem Float-Zone-Verfahren gezüchtet. Während Float-Zone-Öfen in der Regel keine oder nur sehr wenige Graphitteile enthalten, stützt sich das CZ-Verfahren vor allem auf hochreine Graphitteile und Graphitfilzisolierungen. SGL Carbon blickt auf eine langjährige Zusammenarbeit mit den weltweit führenden Unternehmen der Siliziumkristallzüchtung zurück. Wir bieten die geeigneten Materialien für Suszeptoren aus Graphit- und carbonfaserverstärktem Kohlenstoff (CFC), Heizelemente, Reflektoren, Rohre, Hart- und Weichfilze für Isolationen und andere.
Graphitwerkstoffe für die Siliziumkarbid-Kristall-Züchtung
Das Wachstum von Siliziumkarbid (SiC)-Einkristallen beinhaltet in der Regel eine Art PVT-Verfahren bei sehr hohen Temperaturen von über 2400 °C. Die von SGL Carbon angebotenen Graphitwerkstoffe sind für den Einsatz in diesen extremen Umgebungen besser geeignet als alle anderen Materialien auf dem Markt. Unabhängig von Ihren Ofenspezifikationen, ob Sie die Herstellung von SiC-Pulvern als Rohstoff oder die Züchtung von SiC-Kristallen im Fokus haben: SGL Carbon hat die richtigen Materialien für Sie und kann Sie bei der Suche nach der perfekten Lösung unterstützen.
Graphitmaterialien für die Saphirglas-Züchtung
Es gibt verschiedenste Technologien zur Züchtung von Saphirkristallen: HEM, Kyropolous, EFG oder sogar die CZ-Methode. Bei SGL Carbon haben wir Erfahrung mit all diesen Methoden und wissen, welche Materialien für welche Anwendung und welchen Ofen am besten geeignet sind. Durch unsere umfangreiche Zusammenarbeit mit Unternehmen vor Ort kennen wir die Fallstricke zuverlässiger Saphirofen-Hot-Zones und freuen uns darauf, in Zukunft mit Ihnen zusammenzuarbeiten.
Komponenten
Wir fertigen unsere Komponenten nach Ihren individuellen Anforderungen und unterstützen Sie bei der Planung, Gestaltung und Optimierung Ihres Betriebs. Sie können sich auf unsere umfassende Kompetenz im Umgang mit hochreinen Produkten verlassen, die wir durch eine umfangreiche Zertifizierung nach Ihren Anforderungen garantieren können.
Heizer, Stütztiegel, Hitzeschilde und Isolationsbauteile
Unser Portfolio umfasst Heizer, Stütztiegel, Hitzeschilde und Isolationsbauteile für viele Prozesse und Materialien zur Züchtung von Einkristallen.
Wir liefern auch Suszeptoren für die Siliziumepitaxie und MOCVD-Reaktoren. Bekannt für unsere gleichbleibend hohe Qualität und individuelle Fertigung, bieten wir anwendungsspezifische Veredelungen durch Reinigung, mechanische Bearbeitung oder Beschichtung.
SIGRABOND® CFC-Rohre, Zylinder und Schmelztiegel
Unsere CFC-Rohre und -Zylinder in gewickelter oder laminierter Form ermöglichen aufgrund der hohen Festigkeit schlanke Bauformen für verschiedenste Hochtemperaturanwendungen.
Für das Schmelzen von Halbleitermaterialien bieten wir hochbelastbare Tiegel an, die durch hohe Standzeit überzeugen.
SIGRAFLEX® Auskleidungswerkstoffe, Diffusionsbarrieren, Isolation und Heizelemente
SIGRAFLEX-Produkte aus expandiertem Naturgraphit sind ideale Materialien für den Einsatz bei der Halbleiter-Kristallzucht – durchgeführt bei hohen Temperaturen in aggressiven Umgebungen. SIGRAFLEX ist prädestiniert für diese Anwendungen insbesondere aufgrund ihrer Weichheit und Flexibilität, Inertheit, Undurchlässigkeit, ihrer hervorragenden Hochtemperatur- und Korrosionsbeständigkeit sowie ihrer hervorragenden thermischen und elektrischen Leitfähigkeit.
Materialien
Unsere Spezialgraphite für die Halbleiterindustrie
Wir liefern Feinkorngraphit, SiC-Beschichtung, Graphit-Weich- und Hartfilze, carbonfaserverstärkten Kohlenstoff für unterschiedlichste Anwendungen sowie SIGRAFLEX Graphitfolie. Alle unsere Werkstoffe stehen für hohe Reinheit, hervorragende mechanische Festigkeit und ausgezeichnete Korrosions- und Temperaturbeständigkeit und können in einer Vielzahl von Größen geliefert werden.
Unser Produktfinder für SIGRAFINE Feinkorngraphite kann Sie bei der Auswahl der richtigen Graphitsorte für Ihre Anwendung unterstützen.
Siliziumkarbid für eine längere Lebensdauer
Unsere hochentwickelte SiC-Beschichtung verlängert die Lebensdauer von besonders beanspruchten Bauteilen, die in besonders herausfordernden Anwendungen und Umgebungen eingesetzt werden.
